“超純氣體”一詞是在1964年全國(guó)超純氣體測(cè)試年會(huì)上定義的即凡氣體純度達(dá)5個(gè)“9”（ 99.999%）以上，總雜質(zhì)為10x10-6V/V（即10ppm）以下的氣體皆屬“超純氣體范疇。但五十年的發(fā)展已經(jīng)改變了這一定義；已經(jīng)把5個(gè)“9”氣體稱為高純氣，而稱6個(gè)“9”以上純度氣體才為超純氣。純度大于99%以上的氣體純度分析都采用扣除雜質(zhì)的差減法計(jì)算，因而氣體純度分析實(shí)際是對(duì)氣體中微量或痕量的雜質(zhì)氣體檢測(cè)。

　　色譜檢測(cè)器小檢測(cè)濃度取決于，一是檢測(cè)器的敏感度。敏感度愈高檢測(cè)器檢測(cè)的雜質(zhì)濃度愈低；二是色譜峰的峰寬愈小（柱效愈高），檢測(cè)雜質(zhì)氣濃度愈低。具體對(duì)于小的峰峰高必須是噪聲的兩倍信號(hào)。任何色譜儀檢測(cè)器的小檢測(cè)值就是小檢測(cè)濃度。儀器操作者都應(yīng)知道，低于此濃度的值（沒(méi)有出峰）不應(yīng)是“0”，而應(yīng)是小于小檢測(cè)濃度值。理論上也認(rèn)為只能接近于“0”而不能等于“0”。對(duì)于連續(xù)監(jiān)測(cè)的數(shù)字顯示儀所顯示的“0”也應(yīng)這樣看，因?yàn)轱@示不能表示出小于它小檢測(cè)濃度的值來(lái)。因而所有儀器在檢測(cè)雜質(zhì)時(shí)，如果未能測(cè)出含量，則給報(bào)告中，該組分含量就應(yīng)寫出小于小檢出濃度值，而不能寫“0”。

　　每臺(tái)氣相色譜儀分析高純氣體必須做到有相應(yīng)被測(cè)雜質(zhì)氣的敏感度和較好重復(fù)性。我們認(rèn)為在保證上述條件和滿足本底要求條件下，儀器的定量誤差主要取決于標(biāo)準(zhǔn)氣的準(zhǔn)確度（可靠性）。對(duì)于痕量成分重復(fù)測(cè)量的相對(duì)誤差往往比常量分析大的多。對(duì)0.1—10ppm濃度的檢測(cè)重復(fù)性（相對(duì)誤差），在10—20%的相對(duì)誤差也是較好的；PPT級(jí)的雜質(zhì)氣，可以允許有一個(gè)數(shù)量級(jí)之差。在定量方法上都采用了“外標(biāo)法”，即使用標(biāo)準(zhǔn)氣校正。在實(shí)驗(yàn)室可以做到用多種配制標(biāo)準(zhǔn)氣方法較正，能得到較高的可靠性。而在實(shí)際使用中難度很大，因此在標(biāo)準(zhǔn)氣的配制上要求是很嚴(yán)格的。