高純氣體中微量雜質(zhì)的分析是色譜分析的難點(diǎn)。目前國內(nèi)在高純氣體分析領(lǐng)域多數(shù)采用的熱導(dǎo)（TCD）檢測器由于靈敏度有限，很難測定5ppm以下的雜質(zhì)；氧化鋯檢測器由于是一種選擇性的檢測器，只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì)；而氬離子檢測器又往往帶有放射源，均不能達(dá)到高純氣體分析的基本要求。隨著國內(nèi)高純氣體行業(yè)的發(fā)展和氣體用戶對氣體純度的要求越來越高，以上幾種檢測器已經(jīng)不能完成對高純氣體中微量雜質(zhì)的檢測。本方法適用于高純氮、純氮、超純氮以及各種高純氣體中的氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等多種高純氣體的檢測。

　　高純氬屬于無色無味無毒氣體，化學(xué)性質(zhì)極不活潑，未形成任何化合物。相對密度ds(21.1℃)1.38。氣體密度1.650kg/m3(21.1℃)；液體密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸點(diǎn)-185.9℃。熔點(diǎn)-189.2℃。采用空氣分離提氬，即將液化的空氣進(jìn)行精餾，得到粗氬。抽出粗氬，經(jīng)進(jìn)一步提純可得到高純氬。

　　高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護(hù)氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。

　　高純氬分析氣相色譜儀所有連接接口均采用1/8"VCR，保障了儀器的氣密性。安裝的閥門經(jīng)過了嚴(yán)格的泄漏試驗(yàn)，并且被裝在了有Ar氣吹掃的機(jī)殼內(nèi)，*與大氣隔離。因此杜絕了環(huán)境污染，從而保證儀器有更穩(wěn)定、更靈敏和更長的使用壽命，采用ADD氬放電離子化檢測器，主要用于高純氬以及超純氬中H2、O2、N2、CH4、CO、CO2的分析。